Российские высокие технологии на выставке SEMICON Europa

Выставка SEMICON Europa 2017, которая состоялась в Мюнхене (Германия), привлекла рекордное число посетителей, чему в значительной степени способствовало ее одновременное проведение с форумом productronica. Российская полупроводниковая отрасль была представлена коллективным стендом московских компаний, кроме того, нашей стране был посвящен специальный блок деловой программы.

В рамках коллективного стенда Правительства Москвы Made in Moscow свои высокотехнологичные разработки продемонстрировали компании столичного региона.

Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) представил проекты в области электронных компонентов и МЭМС, в частности, интегрально-оптический мультиплексор спектрального уплотнения информации в телекоммуникационных устройствах и сетях высокоскоростной параллельной передачи данных, вошедший в число победителей фестиваля инноваций международного форума «Микроэлектроника-2017» в Алуште.

Троицкий нанотехнологический центр «ТехноСпарк» был представлен продукцией двух компаний — TEN Flecs и TEN Electronics. Первая продемонстрировала прототипы OLCD-дисплеев, отображающих EPD-матриц и пластиковых RFID-меток. Компания TEN Electronics показала информационный щит на основе нескольких EPD-дисплеев и дашборд — платформенное решение для вывода контента.

Компания «Лаборатория вакуумных технологий» (товарный знак Beams&Plasmas), занимающаяся производством и разработкой магнетронных распылительных систем, ионных источников с холодным катодом, электронных пушек с блоками питания, а также высокочастотных генераторов плазмы, проинформировала посетителей выставки о своих компетенциях.

Российское подразделение корпорации NeoPhotonics представило разработки в области создания гибридных фотонных интегрированных оптоэлектронных модулей и подсистем для широкополосных сетей высокоскоростной связи. Продукты компании обеспечивают экономичную, высокоскоростную передачу данных и эффективное распределение пропускной способности в сетях связи.

Компания «Эпиэл» продемонстрировала эпитаксиальные структуры на основе кремния и сапфира для производства широкого спектра полупроводниковых приборов.

Группа компании «ЭСТО» представила проект «Система сухого плазменного травления», реализуемый совместно с Министерством промышленности и торговли РФ.

В рамках выставки на площадке Innovation Village прошло мероприятие Russian Day, на котором были представлены российские компании полупроводниковой отрасли, исследовательские центры и институты развития.

Мария Чекаданова, генеральный директор «Особой экономической зоны управляющей компании „Исток“» рассказала о создании во Фрязино Московской области радиоэлектронного кластера. Подмосковная ОЭЗ ТВТ «Исток» сформирована на базе ведущего российского предприятия в области СВЧ-электроники — НПП «Исток» им. Шокина с целью обеспечения условий для ведения исследований и разработок, создания опытных образцов и производства опытных партий высокотехнологичной продукции в таких областях, как сложные технические системы, электроника, информационные технологии, медицинская техника, фотоника, телеком. В частности, создание ОЭЗ призвано дать новый импульс для реализации инвестиционных проектов в области СВЧ-электроники, а в дальнейшем — способствовать формированию национального центра соответствующего профиля.

ОЭЗ обладает высоким потенциалом к развитию благодаря расположению вблизи столицы страны, хорошей транспортной доступности, высокому научному и образовательному потенциалу региона, а также развитой инновационной инфраструктуре — во Фрязино размещены НПП «Исток», НТО «ИРЭ-Полюс» (лазерное приборостроение), филиалы академических институтов (ФИРЭ им. В. А. Котельникова РАН, СКБ ИРЭ РАН) и высших учебных заведений (МГУ, МИРЭА, МАМИ и др.).

Резидентам ОЭЗ предоставляются налоговые льготы и таможенные преференции. В число дополнительных сервисов входят:

• бесплатное подключение к электрическим и тепловым сетям;
• предоставление IT-инфраструктуры, услуг связи, услуг по автоматизации бизнес-процессов;
• услуги таможенного представителя (брокера);
• предоставление рекламно-маркетинговых услуг, организация и проведение международных выставок;
• консалтинг, юридические услуги, ведение бухгалтерского учета;
• обучение персонала.

Резидентами ОЭЗ ТВТ «Исток» уже стало несколько компаний, в том числе «КЕКО Р», НПО «Борей», «Фотоэлектронные приборы», «Руссибконтроль».

Александр Ткачев, директор Центра инновационных технологий и инженерии, представил открытую платформу для международного сотрудничества в области инноваций EUREKA, которая была создана в 1985 году по инициативе Франции и ФРГ для финансирования и координации исследований и разработок. В настоящее время 41 страна входит в EUREKA на условиях полноправного членства (в том числе, Россия), Южная Корея имеет статус страны-партнера, а Канада, Чили и Южная Африка — ассоциированных членов.

Деятельность EUREKA включает поддержку долгосрочных стратегических инициатив через создание кластеров, которые, как правило, имеют большое количество участников и разрабатывают промышленные решения, главным образом, в области информационных и коммуникационных технологий, энергетики, биотехнологии и автоматизации. В частности, кластеры EUREKA способствовали повышению конкурентоспособности европейской микроэлектроники.

Также EUREKA создает так называемые зонтики — специализированные сетевые проекты, которые ориентированы на конкретную область технологий или бизнес-сектор. Так, были успешно реализованы зонтичные проекты, направленные на развитие туристической отрасли, разработки и производства новых материалов, а также агропродовольственного сектора.

В тесной связи с программой ЕС Horizon 2020 под эгидой EUREKA реализуется более 1000 проектов EUROSTARS. В этой и других инициативах принимают участие коммерческие компании разной величины, научные центры и образовательные организации, причем главной движущей силой, как правило, являются мелкие и средние компании.

Сергей Аваков, генеральный директор КБТЭМ-ОМО (Беларусь), рассказал об оптико-механическом технологическом и контрольно-измерительном оборудовании для производства изделий микроэлектроники, ЖК-панелей и печатных плат. КБТЭМ-ОМО входит в состав государственного научно-производственного объединения точного машиностроения «Планар». На основанном в 1962 году предприятии работают 570 человек, площадь производства составляет около 35 тыс. м², включая 1,5 тыс. м² чистых помещений. Более 4,5 тыс. единиц оптикомеханического оборудования, выпущенного КБТЭМ-ОМО, установлено у 250 заказчиков из Беларуси, России и других стран. Предприятие выпускает два класса оборудования: системы для формирования топологических структур на фотошаблонах, включая генераторы изображений, установки контроля, ремонта и размножения фотошаблонов, и оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах, в том числе системы для непосредственного генерирования изображений на пластинах, проекционные установки, оборудование контактного переноса изображений на подложки и для двусторонней литографии, широкоформатные степперы, а также приборы для контроля полупроводниковых пластин. Ряд разработок предприятия защищены патентами.

Станислав Лобода из компании TEN Flecs сообщил о проекте по созданию гибкой электроники — пластиковых дисплеев и интегральных схем. TEN Flecs — стартап, работающий в области гибкой электроники, который планирует предоставлять контрактные услуги по разработке и производству тонкопленочных компонентов на основе металлооксидных (IGZO — Indium gallium zinc oxide) и органических технологий. Решения компании планируется использовать в создании микросхем (радиочастотной идентификации, NFC, памяти, CMOS), дисплеев (LCD, OLED, EPD) и датчиков (сканеров отпечатков пальца, рентгеновских сенсоров и датчиков давления). К 2019 году планируется создать производство с чистыми помещениями площадью 2 тыс. м², которое ежегодно будет выпускать до 10 тыс. м² TFT-матриц и более 150 млн NFC-чипов.

Андрей Хохлун рассказал о компетенциях компании «КЕКО Р» — резидента ОЭЗ ТВТ «Исток», — специализирующейся на новых технологических решениях с использованием гибридных 2,5D- и 3D-технологий интеграции приборов микроэлектроники. Предприятие успешно освоило технологию LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramic — низкотемпературная совместно обжигаемая керамика) производства многослойных керамических плат для ВЧ- и СВЧ-электроники. К преимуществам LTCC относятся хорошие электрические характеристики, высокая механическая стабильность, низкий коэффициент теплового расширения, хорошая теплопроводность, совместимость с технологиями 2,5D- и 3D-интеграции, а также герметичность и возможность высокотемпературной пайки. Номенклатура выпускаемой продукции включает датчики давления, датчики уровня жидкости, микрофлюидные вискозиметры, биосенсоры.

Владимир Крупник, вице-президент по развитию бизнеса компании «Крокус Наноэлектроника», представил первое в России предприятие, выпускающее интегральные схемы на пластинах 300 мм с проектными нормами 90/55 нм. Компания является совместным проектом РОСНАНО и Crocus Technology, созданным в 2011 году для реализации полного цикла технологических операций на завершающем этапе производства (back end of line, BEOL) интегральных схем магниторезистивной памяти с произвольным доступом (Magnetoresistive Random Access Memory, MRAM). Помимо MRAM продуктовый портфель компании включает микроконтроллеры, RFID-чипы, биоэлектронные чипы, магнитные датчики для промышленной электроники, оборудования связи, автомобильной и потребительской электроники.

Разработаны модули встраиваемой MRAM-памяти, оптимизированные для применения в смарт-картах (sim-карты, банковские карты и т.д.) и микросхемах радиочастотной идентификации (RFID). «Крокус Наноэлектроника» располагает чистыми помещениями площадью 2,5 тыс. м² и имеет производственную мощность 4 тыс. пластин/мес. Производство оснащено современным оборудованием для фотолитографии, плазменного сухого травления, химического травления, плазмохимического осаждения из газовой фазы, вакуумного напыления, химико-механической планаризации и других процессов.

Антон Кузнецов, заместитель коммерческого директора компании «СКТО-Промпроект», представил услуги по проектированию, реконструкции и техническому перевооружению высокотехнологичных предприятий с чистыми помещениями разных классов. Компания реализует проекты в радиоэлектронной промышленности, приборостроении, связи, ракетно-космической и авиационной промышленности, энергетике, медицине и фармацевтике.

Также в Russian Day приняли участие представители европейских компаний, которые активно работают на российском рынке: Томас Мюллер, руководитель отдела продаж в Европе фирмы Finetech GmbH (Германия), и Ярек Долак, управляющий директор SVCS (Чехия).