Семинар компании Entegris
Контроль молекулярных загрязнений в воздухе чистых помещений стал темой семинара, организованного в ЗНТЦ для технических специалистов, работающих в области производства микроэлектроники. В семинаре приняли участие специалисты Entegris GmbH: Philipp Weise, Ronny Rauschenbach.
Зарубежные коллеги представили технологам наноцентра актуальную информацию по фильтрам для очистки воздуха чистых помещений и воздушного пространства сканеров нового поколения от молекулярных загрязнений, разъяснили вопросы контроля уровня молекулярных загрязнений в воздухе чистых помещений, рассказали о новой генерации установок очистки воздуха, азота, водорода Aeronex на большие потоки (до 20 м³/мин).
Компания Entegris является основным поставщиком продуктов и систем очищения, защиты и транспортировки материалов, используемых в изготовлении полупроводниковых устройств. В компании более 2600 сотрудников, сеть сервисных центров и
