Зеленоградский нанотехнологический центр представил российским инженерам первый отечественный фотолитограф
Разработчик установки АО «Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ) Группы «РОСНАНО» впервые провел живую демонстрацию отечественной разработки для специалистов микроэлектронной отрасли.
Инженеры ведущих профильных организаций смогли оценить возможности применения фотолитографа в условиях реального литографического участка.
Научно-технический семинар «Актуальные технологии и оборудование для литографии и обработки фоторезистов»
Мероприятие состоялось в рамках научно-технического семинара «Актуальные технологии и оборудование для литографии и обработки фоторезистов». Ключевой особенностью новой установки стало новейшее решение в источнике излучения.
«Отечественная установка существенно отличается от зарубежных аналогов: впервые в качестве излучения использована не ртутная лампа, а твердотельный лазер — мощный и энергоэффективный, с высокой долговечностью и более узким спектром. Это важный шаг в формировании новых компетенций в области отечественной микроэлектроники», – отметили в АО «ЗНТЦ» Группы «РОСНАНО».
Анатолий Ковалев, генеральный директор АО «Зеленоградский нанотехнологический центр»
В ЗНТЦ подчеркивают стратегическое значение проекта. Фотолитограф предназначен для производства кристаллов аналоговых микросхем, включая сенсоры, фотонные интегральные схемы и компоненты для датчиков. Это технологическое решение призвано снизить зависимость российской микроэлектроники от импорта и обеспечить технологический суверенитет страны.
Разработка велась АО «ЗНТЦ» в кооперации с белорусским предприятием ОАО «Планар» в рамках программы Союзного государства при поддержке Минпромторга РФ. Представленная установка ляжет в основу для целого семейства полностью локализованных литографов с нормами 130 и 90 нанометров.
В рамках деловой программы семинара эксперты также представили доклады о перспективных отечественных литографах на 350 и 130 нм, а партнеры мероприятия осветили другие передовые методы литографии и сопутствующие технологические процессы.
Презентация первого отечественного фотолитографа российским инженерам
Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) — одна из ведущих инновационных компаний, осуществляющая исследования и разработки в области нано- и микросистемной техники. Входит в инвестиционную сеть Фонда инфраструктурных и образовательных программ. ЗНТЦ осуществляет разработку и производство датчиков и сенсоров физических величин, интегральной оптики и фотонной компонентной базы для построения интеллектуальных систем управления. Поддерживает более 30 стартапов в различных отраслях промышленности, в том числе, в робототехнике, промышленной автоматике, энергетике и медицине.
Подробнее о нанцентре — zntc.ru
