Фонд инфраструктурных и образовательных программ начинает оснащение микроэлектронных предприятий российскими литографами
Первый отечественный литограф 350 нм будет поставлен компании «Отраслевые решения» (группа «Элемент»). Предприятие занимается локализацией в России всей производственной цепочки силовой электроники, востребованной в энергетике, тяжелом и легком машиностроении, приборостроении, авиации и других отраслях промышленности.
Это будет уже вторая поставка на российский рынок с момента завершения испытаний.
Разработка литографа велась Зеленоградским нанотехнологическим центром (входит в инвестиционную сеть Фонда инфраструктурных и образовательных программ Группы «РОСНАНО») с 2021 года совместно с белорусским «Планар». На сегодняшний день это единственное в стране производство подобных установок.
Литограф предназначен для проекционного переноса изображения фотошаблона на полупроводниковую пластину и мультипликации его на пластине при изготовлении сверхбольшой интегральной схемы с проектной топологической нормой 350 нм. Эти нормы используются для изготовления элементной базы в силовой и автоэлектронике, а также в промышленных системах.
Сегодня Зеленоградский наноцентр ведет работу над следующим поколением литографов с разрешением 130 нм.
Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) — одна из ведущих инновационных компаний, осуществляющая исследования и разработки в области нано- и микросистемной техники. Входит в инвестиционную сеть Фонда инфраструктурных и образовательных программ. ЗНТЦ осуществляет разработку и производство датчиков и сенсоров физических величин, интегральной оптики и фотонной компонентной базы для построения интеллектуальных систем управления. Поддерживает более 30 стартапов в различных отраслях промышленности, в том числе, в робототехнике, промышленной автоматике, энергетике и медицине.
Подробнее о нанцентре — zntc.ru
