3D-интеграция, производство МЭМС и интегральная фотоника...

Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) — одна из немногих компаний, представивших российские высокие технологии на выставке SEMICON Europa 2017 в Мюнхене (Германия). На объединенном стенде Москвы «Made in Moscow» на вопросы нашего журнала ответил генеральный директор ЗНТЦ Анатолий Андреевич Ковалев.

Анатолий Андреевич, каковы цели участия ЗНТЦ в выставке SEMICON Europa?

Прежде всего отмечу, что совместное проведение SEMICON Europa и productronica — логичное решение, которое даст новый импульс развитию обеих выставок. В ходе форума мы провели переговоры с поставщиками технологического и контрольно-измерительного оборудования, а также институтами общества Фраунгофера. С последними ведется взаимовыгодное сотрудничество в области технологии 3D-интеграции, в частности, мы планируем осваивать работу с тонкими пластинами с использованием так называемого «временного бондинга» при формировании интерпозеров 3D-структур. Какие проекты реализуются в настоящее время? Мы участвуем в ряде международных проектов, например, для европейских программ совместно с МГУ им. М. В. Ломоносова ведутся исследования и разработки в области сенсоров рентгеновского излучения. Также в 2017 году запущено несколько проектов в области интегральной фотоники, востребованной в телекоммуникационной индустрии. В сотрудничестве с холдингом «Росэлектроника», МИЭТ и МФТ. И ведется разработка оптического мультиплексора и других устройств. В частности, проект интегрально-оптического мультиплексора спектрального уплотнения информации в телекоммуникационных устройствах и сетях высокоскоростной параллельной передачи данных вошел в число победителей фестиваля инноваций международного форума «Микроэлектроника-2017» в Алуште. Такой оптический мультиплексор обеспечивает высокоскоростную надежную параллельную передачу данных. В будущем интегральная фотоника может стать одним из основных направлений нашей работы. В ближайших производственных планах — организация на площадке в Зеленограде серийного выпуска МЭМС для гироскопов и акселерометров.

Мы стремимся стать ведущим российским центром в области разработки и производства МЭМС, для этого есть заинтересованные партнеры, необходимое технологическое оборудование и квалифицированные специалисты. Подготовке кадров уделяется особое внимание: сотрудники ЗНТЦ прошли стажировку в Европе, а также обучение на нашем производстве с привлечением специалистов, в том числе из институтов общества Фраунгофера. При поддержке Корпорации развития Зеленограда мы планируем и в дальнейшем приглашать ведущих иностранных экспертов, которые будут помогать нам на практике осваивать новые технологии.

Какие возможности открыло освоение технологии 3D-интеграции?

Одним из новых направлений стало создание приемопередающих модулей СВЧ-электроники для гражданских и специальных применений. Использование 3D-интеграции позволило уменьшить массогабаритные показатели таких устройств. Проект реализуется в сотрудничестве со специалистами НИИМЭ, которые располагают компетенциями в создании интерпозеров и активных и пассивных СВЧ-элементов по кремниевой технологии. Рассчитываем на прорыв в этой области в 2018 году и готовим технологическую базу на основной площадке ЗНТЦ и заводе «Протон». Совместно с «Росэлектроникой» и МИЭТ успешно освоен монтаж кристаллов по технологии «флип чип». Поскольку в современных ИС высокой интеграции «проволочная» сборка уже практически не используется, мы планируем внедрять «флип чип» в производство приборов, изготавливаемых по традиционной КМОП-технологии. Здесь мы также сотрудничаем с НИИМЭ.

Еще одним интересным проектом, в котором используется 3D-интеграция, стало создание модулей, объединяющих чувствительные элементы и схемы обработки, по заказу российских партнеров европейского центра ядерных исследований CERN.

Как работа ЗНТЦ в качестве производственной компании согласуется с его миссией бизнесинкубатора?

Для развития новых направлений создаются специализированные стартапы, которые ведут разработку определенных частей проектов.

Например, развитием систем интегральной фотоники занимаются три стартапа, в которые вложены средства не только ЗНТЦ, но и сторонних инвесторов. Мы считаем, что такая организация работы позволит ускорить создание и коммерциализацию новых решений. Помимо традиционных для нас электроники и фотоники, активно развиваем биомедицинское направление. В частности, хорошие перспективы имеют разработки нашей портфельной компании «Нанофикс» в области создания поликремниевых покрытий для инструментов и зубных протезов.

Так как за последние годы ЗНТЦ сильно вырос, мы обсуждаем с учредителями реорганизацию нашей бизнес-структуры. Идея состоит в том, чтобы наноцентр выполнял роль управляющей компании, а технологические бизнесы, стартапы и проектный офис были преобразованы в форматы отдельных компаний. Концепция такой реорганизации одобрена учредителями, и полагаю, что в ближайшем будущем мы перейдем к ее реализации.