Компания Polarus, стартап ФИОП, создал пикосекундный лазер для резки сапфиров и кремния
Волоконный пикосекундный лазер PL Beta для микроэлектронной промышленности
Компания Polarus (входит в Группу компаний «ТехноСпарк» инвестиционной сети Фонда инфраструктурных и образовательных программ, ФИОП) выпустила новую модель волоконного пикосекундного лазера PL Beta для микроэлектронной промышленности. По оценкам компании, отечественное оборудование будет стоить ощутимо дешевле зарубежных аналогов. Серийное производство планируется начать в 2022 году.
Лазер PL Beta предназначен для резки и обработки сапфиров, кремния и других хрупких материалов, которые применяются в микроэлектронике в качестве защитных стекол и подложек под микросхемы и светодиоды. Также PL Beta способен выполнять сквозную резку полупроводниковых пластин, скрайбирование (точное надрезание), микросварку, удаление материала с поверхности, маркировку и другие операции. Компактный лазерный аппарат можно напрямую интегрировать в готовые промышленные системы.
«Наш лазер позволит справляться с такими сложными операциями, как аккуратная резка сапфира, не прибегая к дорогим и громоздким твердотельным лазерам. PL Beta оперирует очень короткими импульсами, 38 пикосекунд, поэтому под воздействием излучения материал испаряется, а не плавится, как при обработке наносекундным лазером. В итоге получается очень аккуратный рез с ровными краями. Такую аккуратную обработку можно сделать фемтосекундным лазером, но это стоит существенно дороже», — рассказала директор Polarus Екатерина Ходунова.
В сравнении с твердотельными, волоконные лазеры более надежны и компактны, имеют слабую чувствительность к ударам и вибрациям. Их высокие спектральные характеристики, сопоставимые с параметрами твердотельных лазеров, позволяют выполнять очень тонкие резы.
Фонд инфраструктурных и образовательных программ — один из крупнейших институтов развития инновационной инфраструктуры в России. Создан на основании закона «О реорганизации Российской корпорации нанотехнологий» в 2010 году. 22 октября 2020 года Фонду инфраструктурных и образовательных программ исполнилось 10 лет.
Цель деятельности Фонда — финансовое и нефинансовое развитие нанотехнологического и других высокотехнологичных секторов экономики путем реализации национальных проектов, формирования и развития инновационной инфраструктуры, трансформации дополнительного образования через создание новых учебных программ и образовательных технологий, оказания институциональной и информационной поддержки, способствующей выведению на рынок технологических решений и готовых продуктов, в том числе в области сквозных цифровых технологий.
Генеральный директор Фонда — Руслан Титов.
